Effects of surface hydrogenation to purify and flatten Si surfaces by extracting metallic impurities in subsurfaces
(Si表面の水素化による表面下の金属不純物の析出を利用したSi表面の純化および平坦化効果)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:42:38 +0900 更新時刻: 2026-10-01 05:09:52 +0900