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Effects of surface hydrogenation to purify and flatten Si surfaces by extracting metallic impurities in subsurfaces
(Si表面の水素化による表面下の金属不純物の析出を利用したSi表面の純化および平坦化効果)

HIGAI, SHINICHI, Takahisa Ohno, Shin’ichi Higai.
Applied Physics Letters 78 [24] 3839-3841. 2001.

NIMS著者


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      作成時刻: 2016-05-24 11:42:38 +0900更新時刻: 2024-04-01 20:22:14 +0900

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