Formation of microcones accompanied with ripple patterns in laser-activated plasma CVD of sp 3-bonded BN films
(レーザ・プラズマCVDによるBN薄膜における波紋パターンを伴うミクロコーン形成)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 17:44:38 +0900更新時刻: 2024-04-02 06:17:46 +0900