スパッタ蒸着したチタン薄膜の室温における酸化
(Room Temperature Oxidation of Spatter-Deposited Ti Films)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:28:32 +0900更新時刻: 2018-12-14 22:14:26 +0900