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スパッタ蒸着したチタン薄膜の室温における酸化
(Room Temperature Oxidation of Spatter-Deposited Ti Films)

著者中村恵吉, 宇田雅広, 宇田雅広.
掲載誌名日本金属学会誌 49 1083
出版社
発表年1985
言語Japanese

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