スパッタ蒸着したチタン薄膜の室温における酸化
(Room Temperature Oxidation of Spatter-Deposited Ti Films)
| 著者 | 中村恵吉, 宇田雅広, 宇田雅広. |
|---|---|
| 掲載誌名 | 日本金属学会誌 49 1083 |
| 出版社 | |
| 発表年 | 1985 |
| 言語 | Japanese |
| 著者 | 中村恵吉, 宇田雅広, 宇田雅広. |
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| 掲載誌名 | 日本金属学会誌 49 1083 |
| 出版社 | |
| 発表年 | 1985 |
| 言語 | Japanese |