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Ab Initio Study of the Oxidation on Vicinal Si(001) Surfaces: the Step-Selective Oxidation
(傾斜Si(001)表面上の酸化に関する第一原理研究：ステップ選択酸化)

Jin-Nam Yeo, Gang Man Jee, B. D. Yu, Hanchul Kim, C.-H. Chung, H. W. Yeom, I.-W. Lyo, Ki-jeong Kong, Y. Miyamoto, O. Sugino, T. Ohno.
Physical Review B 76 [11] 115317. 2007.
https://doi.org/10.1103/physrevb.76.115317

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      作成時刻: 2016-05-24 15:23:07 +0900更新時刻: 2024-04-01 22:14:21 +0900

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