活性化イオンプレーティングによるモリブデンのシリコン・ナイトライド被覆
(Silicon Nitride Coatings on Molybdenum by RF Reactive Ion Plating)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:24:57 +0900更新時刻: 2019-03-26 02:47:46 +0900