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活性化イオンプレーティングによるモリブデンのシリコン・ナイトライド被覆
(Silicon Nitride Coatings on Molybdenum by RF Reactive Ion Plating)

福富勝夫, 岡田雅年, 北島正弘, 渡辺亮治, Masao Fukutomi.

NIMS author(s)


    Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)


      Created at: 2016-05-24 11:24:57 +0900 Updated at: 2019-03-26 02:47:46 +0900

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