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機械学習によるプラズマエッチング率予測
( Prediction of Plasma Etching Yields by Machine Learning)

著者幾世和将, 木野 日織, ダム ヒョウ チー, ダム ヒョウ チー, 浜口智志, 浜口智志.
掲載誌名Journal of plasma and fusion research 542-547
出版社
発表年2019
言語Japanese

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