HOME > 論文 > 書誌詳細機械学習によるプラズマエッチング率予測( Prediction of Plasma Etching Yields by Machine Learning)幾世和将, 木野 日織, ダム ヒョウ チー, ダム ヒョウ チー, 浜口智志, 浜口智志. Journal of plasma and fusion research 542-547. 2019.NIMS著者木野 日織Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2020-02-01 03:00:18 +0900更新時刻: 2020-02-01 03:00:18 +0900