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| 著者名 | 木野 日織, 幾世和将, ダム ヒョウ チー, 浜口智志, ダム ヒョウ チー, 浜口智志. |
|---|---|
| タイトル | 機械学習によるプラズマエッチング率予測 ( Prediction of Plasma Etching Yields by Machine Learning) |
| 掲載誌名 | Journal of plasma and fusion research 542-547 |
| 発表年 | 2019 |
| 言語 | Japanese |
| ESIでのカテゴリ |
| 著者名 | 木野 日織, 幾世和将, ダム ヒョウ チー, 浜口智志, ダム ヒョウ チー, 浜口智志. |
|---|---|
| タイトル | 機械学習によるプラズマエッチング率予測 ( Prediction of Plasma Etching Yields by Machine Learning) |
| 掲載誌名 | Journal of plasma and fusion research 542-547 |
| 発表年 | 2019 |
| 言語 | Japanese |
| ESIでのカテゴリ |