SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 論文 > 詳細

論文の表示

著者名木野 日織, 幾世和将, ダム ヒョウ チー, 浜口智志, ダム ヒョウ チー, 浜口智志.
タイトル機械学習によるプラズマエッチング率予測
( Prediction of Plasma Etching Yields by Machine Learning)
掲載誌名Journal of plasma and fusion research 542-547
発表年2019
言語Japanese
ESIでのカテゴリ

▲ページトップへ移動