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機械学習によるプラズマエッチング率予測
( Prediction of Plasma Etching Yields by Machine Learning)

幾世和将, 木野 日織, ダム ヒョウ チー, ダム ヒョウ チー, 浜口智志, 浜口智志.
Journal of plasma and fusion research 542-547. 2019.

NIMS著者

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

    作成時刻: 2020-02-01 03:00:18 +0900更新時刻: 2020-02-01 03:00:18 +0900

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