機械学習によるプラズマエッチング率予測
( Prediction of Plasma Etching Yields by Machine Learning)
| 著者 | 幾世和将, 木野 日織, ダム ヒョウ チー, ダム ヒョウ チー, 浜口智志, 浜口智志. |
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| 掲載誌名 | Journal of plasma and fusion research 542-547 |
| 出版社 | |
| 発表年 | 2019 |
| 言語 | Japanese |