HOME > Article > Detail機械学習によるプラズマエッチング率予測( Prediction of Plasma Etching Yields by Machine Learning)幾世和将, 木野 日織, ダム ヒョウ チー, ダム ヒョウ チー, 浜口智志, 浜口智志. Journal of plasma and fusion research 542-547. 2019.NIMS author(s)KINO, HioriFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at :2020-02-01 03:00:18 +0900 Updated at :2020-02-01 03:00:18 +0900