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機械学習によるプラズマエッチング率予測
( Prediction of Plasma Etching Yields by Machine Learning)

幾世和将, 木野 日織, ダム ヒョウ チー, ダム ヒョウ チー, 浜口智志, 浜口智志.

NIMS author(s)


Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)


    Created at :2020-02-01 03:00:18 +0900 Updated at :2020-02-01 03:00:18 +0900

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