Submicrometer transmission mask fabricated by low-temperature SF6 10 2 reactive ion | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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Submicrometer transmission mask fabricated by low-temperature SF6 10 2 reactive ion
(低温反応性エッチングと収束イオンビームによるサブミクロン透過マスクの創製)

H.Y,Shing, FUJITA, Daisuke, H.Okamoto, H.Nejin, T.Ohgi.

Journal of Vacuum Science and Technology B . 1998.

NIMS著者

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2022-09-05 10:55:47 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:55:47 +0900

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