HOME > Article > Detail水素かが及ぼすSi表面の光学パラメーターの変化(The change in optical parameters during plaswa hydrogenation of Si(100))板倉 明子, 北島 正弘, 清水達夫, 西岡泰城, 成島哲也, 清水達夫, 西岡泰城, 成島哲也. 真空 42 . 1999.NIMS author(s)ITAKURA, AkikoFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2016-05-24 11:40:02 +0900 Updated at: 2018-12-15 00:48:27 +0900