Preparation of orthorhombic Y-doped TaON film

著者	Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo.
掲載誌名	Journal of the Ceramic Society of Japan 130 [7] 22002 ISSN: 13486535 ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社	Ceramic Society of Japan
発表年	2022
言語	English
DOI	https://doi.org/10.2109/jcersj2.22002
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