Preparation of orthorhombic Y-doped TaON film
著者 | Takanori Mimura, Takao Shimizu, Hiroshi Funakubo. |
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掲載誌名 | Journal of the Ceramic Society of Japan 130 [7] 22002 ISSN: 13486535 ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE |
出版社 | Ceramic Society of Japan |
発表年 | 2022 |
言語 | English |
DOI | https://doi.org/10.2109/jcersj2.22002 |
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