Advanced Subatrate for Fablication of Nanostructure with XHV Integrated Process.
(極微構造物創製のためて極高真空一貫プロセスによる先進基板の作製)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-09-05 10:52:55 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:52:55 +0900