新規なエアロゾル化ガスディポジション法によるアルミナ絶縁膜の作製
(Fabrication of Alumina Film with High Breakdown Field Strength by New Aerosol Deposition Technology)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2022-05-10 13:37:02 +0900 更新時刻: 2026-11-09 06:57:29 +0900