HOME > 論文 > 書誌詳細シリコンのプラズマ酸化における酸素イオンの効果(Role of Oxygen Ions in Plasma Oxidation of Silicon)北島 正弘, 上岡功, 河辺隆也, 中村一隆, 菱田 俊一, 上岡功, 河辺隆也, 中村一隆. 表面科学 16 [8] 32-37. 1995.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2016-05-24 11:35:40 +0900 更新時刻: 2018-12-15 00:43:47 +0900
