Ultrafast production of silicon via aluminothermic reduction of tetrachlorosilane in a thermal plasma jet
(熱プラズマを用いたSiCl4のAl熱還元法によるSiの超高速生成)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 16:44:47 +0900更新時刻: 2024-04-02 03:11:17 +0900