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著者名Akiko N. Itakura, Masaya Toda, Koji Miyake, Renate Förch, Rüdiger Berger.
タイトルEffective Young's Modulus Measurement of Thin Film Using Micromechanical Cantilever Sensors
掲載誌名Japanese Journal of Applied Physics 52 11R 110111
ISSN: 13474065 00214922
発表年2013
言語English
DOI10.7567/jjap.52.110111
ESIでのカテゴリPHYSICS
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