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著者名Akiko N. Itakura, Masaya Toda, Koji Miyake, Renate Förch, Rüdiger Berger.
タイトルEffective Young's Modulus Measurement of Thin Film Using Micromechanical Cantilever Sensors
掲載誌名Japanese Journal of Applied Physics 52 [11R] 110111
ISSN: 13474065 00214922
発表年2013
言語English
DOI10.7567/jjap.52.110111
ESIでのカテゴリPHYSICS
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