HOME > 論文 > 書誌詳細Formation of 2H-Type SiC Films by Reactive Sputtering松本精一郎, 鈴木弘茂, 上田隆三. Jap.J.Appl.Phys. 607. 1972.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-05 10:18:16 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:18:16 +0900
