Recrystallization and Reactivation of Dopant Atoms in Ion-Implanted Silicon Nanowires
(イオン注入されたシリコンナノワイヤの再結晶化とドーパントの再活性化過程)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 16:41:50 +0900更新時刻: 2024-05-03 07:38:07 +0900