Fabrication of amorphous carbon nitride films by hot-wire chemical vapor deposition
(ホットワイヤー化学気相成長法による非晶質窒化炭素膜の作製)
NIMS著者
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作成時刻: 2022-11-15 00:39:48 +0900 更新時刻: 2022-11-15 00:39:48 +0900