HOME > 論文 > 書誌詳細シリコンのプラズマ酸化における酸素イオンの効果上岡功, 北島正弘, 川辺隆也, 中村一隆, 菱田俊一. 表面科学 504. 1995.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2022-09-05 10:43:54 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:43:54 +0900
