Light element distribution in ZnO thin film deposited by electron cyclotron resonance assisted chemical vapor deposition
(SIMSによる酸化亜鉛薄膜中の軽元素の分析)
NIMS著者
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作成時刻: 2016-05-24 11:55:24 +0900 更新時刻: 2018-05-30 17:56:52 +0900