Oxidation Rate and Surface Potential Variations of Silicon During the Plasma Oxidation
(プラズマ酸化によるシリコンの酸化速度と表面電位変動)
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2016-05-24 11:36:04 +0900 更新時刻: 2026-11-04 06:27:11 +0900