K.Sone; M.Saidoh; K.Nakamura; R.yamada; Y.Murakami; T.Shikama; M.Fukutomi; M.Okada; K.Sone; M.Saidoh; K.Nakamura; R.yamada; Y.Murakami; T.Shikama; M.Fukutomi; M.Okada; K. Sone; M. Saidoh; K. Nakamura; R. Yamada; Y. Murakami; T. Shikama; M. Fukutomi; M. Kitajima; M. Okada

doi:10.1016/0022-3115(81)90153-7

HOME > 論文 > 書誌詳細

(Sputtering of Silicon Coatings by Low-Energy Hydrogen Ions)

K.Sone, M.Saidoh, K.Nakamura, R.yamada, Y.Murakami, T.Shikama, M.Fukutomi, M.Okada, K. Sone, M. Saidoh, K. Nakamura, R. Yamada, Y. Murakami, T. Shikama, M. Fukutomi, M. Kitajima, M. Okada.

Journal of Nuclear Materials 98 [3] 270-278. 1981.

https://doi.org/10.1016/0022-3115(81)90153-7

NIMS著者

Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット

作成時刻: 2016-05-24 11:21:45 +0900更新時刻: 2024-04-01 20:13:22 +0900