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| 著者名 | P. Petrik, E. Agocs, J. Volk, I. Lukacs, B. Fodor, P. Kozma, T. Lohner, S. Oh, Y. Wakayama, T. Nagata, M. Fried. |
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| タイトル | Resolving lateral and vertical structures by ellipsometry using wavelength range scan |
| 掲載誌名 | Thin Solid Films 571 579-583 ISSN: 00406090 |
| 発表年 | 2014 |
| 言語 | English |
| ESIでのカテゴリ | MATERIALS SCIENCE |
| DOI | https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.02.008 |
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