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Resolving lateral and vertical structures by ellipsometry using wavelength range scan

著者P. Petrik, E. Agocs, J. Volk, I. Lukacs, B. Fodor, P. Kozma, T. Lohner, S. Oh, Y. Wakayama, T. Nagata, M. Fried.
掲載誌名Thin Solid Films 571 579-583
ISSN: 00406090
ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社Elsevier BV
発表年2014
言語English
DOIhttps://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.02.008
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