P. Petrik; E. Agocs; J. Volk; I. Lukacs; B. Fodor; P. Kozma; T. Lohner; S. Oh; Y. Wakayama; T. Nagata; M. Fried

doi:10.1016/j.tsf.2014.02.008

Resolving lateral and vertical structures by ellipsometry using wavelength range scan

著者	P. Petrik, E. Agocs, J. Volk, I. Lukacs, B. Fodor, P. Kozma, T. Lohner, S. Oh, Y. Wakayama, T. Nagata, M. Fried.
掲載誌名	Thin Solid Films 571 579-583 ISSN: 00406090 ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE
出版社	Elsevier BV
発表年	2014
言語	English
DOI	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.02.008
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