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著者名P. Petrik, E. Agocs, J. Volk, I. Lukacs, B. Fodor, P. Kozma, T. Lohner, S. Oh, Y. Wakayama, T. Nagata, M. Fried.
タイトルResolving lateral and vertical structures by ellipsometry using wavelength range scan
掲載誌名Thin Solid Films 571 579-583
ISSN: 00406090
発表年2014
言語English
ESIでのカテゴリMATERIALS SCIENCE
DOIhttps://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.02.008
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