Resolving lateral and vertical structures by ellipsometry using wavelength range scan
著者 | P. Petrik, E. Agocs, J. Volk, I. Lukacs, B. Fodor, P. Kozma, T. Lohner, S. Oh, Y. Wakayama, T. Nagata, M. Fried. |
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掲載誌名 | Thin Solid Films 571 579-583 ISSN: 00406090 ESIでのカテゴリ: MATERIALS SCIENCE |
出版社 | Elsevier BV |
発表年 | 2014 |
言語 | English |
DOI | https://doi.org/10.1016/j.tsf.2014.02.008 |
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