Measuring interface electrostatic potential and surface charge in a scanning electron microscope | 研究者総覧SAMURAI - 物質・材料研究機構 (NIMS)

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Measuring interface electrostatic potential and surface charge in a scanning electron microscope
(調査顕微鏡で表面のチャージとインタフェースの電位を測り方)

I. Sychugov, Y. Nakayama, K. Mitsuishi.

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures 27 [6] 2357. 2009.

https://doi.org/10.1116/1.3253475

NIMS著者

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作成時刻: 2016-05-24 15:54:17 +0900 更新時刻: 2026-08-28 08:41:42 +0900

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