ヘリウムグロー放電イオン源における高効率イオン化に対する一考察
(Cinsideration of High-efficiency Ionization Using Helium Glow Discharge Ion Source)
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2016-05-24 14:58:23 +0900 Updated at: 2026-11-02 04:57:16 +0900