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著者名Ryoma Hayakawa, Masashi Yoshida, Kouta Ide, Yoshiyuki Yamashita, Hideki Yoshikawa, Keisuke Kobayashi, Shunsuke Kunugi, Tsuyoshi Uehara, Norifumi Fujimura.
タイトルStructural analysis and electrical properties of pure Ge3N4 dielectric layers formed by an atmospheric-pressure nitrogen plasma
掲載誌名Journal of Applied Physics 110 [6] 064103
ISSN: 00218979 10897550
発表年2011
言語English
ESIでのカテゴリPHYSICS
DOIhttps://doi.org/10.1063/1.3638133
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