HOME > 会議録 > 書誌詳細Patterned Heavy-ion Implantation and Feasibility of Low Energy Ion Nanopatterning by RIE(パターン重イオン注入とRIEによる低エネルギーイオンナノパターンニングの実現性)KISHIMOTO, Naoki, Valery Zhukov, Siegfried Kalbitzer. Proceedings of CAARI 2008 #146-#146. 2009.NIMS著者岸本 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-27 01:41:48 +0900更新時刻: 2017-03-17 03:45:07 +0900