TiN膜へのCl+イオン打ち込みによる低摩擦化のX線光電子分光法による研究
(Mechanism of reducing friction coefficient of TiN film by Cl+ ion implantation studied from a viewpoint of surface reaction)
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-27 00:24:29 +0900 更新時刻: 2017-03-17 02:27:02 +0900