イオン注入応用技術によるナノ粒子構造作製とナノパターンニングへの展開
(Fabrication of Nanoparticle Structures by Ion Implantation-based Technology)
| 著者 | 岸本直樹. |
|---|---|
| 発表誌名 | 荷電粒子ビームの工業への応用第132委員会第178回研究会報告集 |
| 発表年 | 2007 |
| 言語 | Japanese |