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パルス高電圧に伴うグロー放電を利用したプラズマイオン注入による炭素膜の作製
(Deposition of carbon films by plasma based ion implantation using glow discharge due to high pulse voltage)


NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻 :2017-02-26 23:54:03 +0900 更新時刻 :2017-03-17 01:59:43 +0900

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