HOME > 会議録 > 書誌詳細パルス高電圧に伴うグロー放電を利用したプラズマイオン注入による炭素膜の作製 (Deposition of carbon films by plasma based ion implantation using glow discharge due to high pulse voltage)新野仁, 石岡 邦江, 北島 正弘. 第16回イオン注入表層処理シンポジウム予稿集 . .NIMS著者石岡 邦江Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻 :2017-02-26 23:54:03 +0900 更新時刻 :2017-03-17 01:59:43 +0900