Si表面酸化反応で生成脱離したSiOの振動回転分布
(Rotahonal and vibrahoual distribution SiO produced by Si surface oxidation)
化学反応討論会. 1994年05月31日-1994年06月02日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:06:11 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:29:29 +0900