Mo基板にマグネトロスパッタ被覆したTixC1-xの特性
(Properities of TixC1-x deposited onto Mo by Magnetron sputtering)
日本原子力学会. 1982-10-01.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 00:04:03 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:00:44 +0900