スパッタＴｉＣ皮膜中にＣｏ―ＤｅｐｏｓｉｔされたＡｒガス
(Ar Gas Co-Deposited in Sputtered TiC Film)
日本原子力学会. 1983年03月28日-1983年03月31日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:17:21 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:01:37 +0900