電顕内イオン照射法を応用した微細加工と照射損傷の直接観察.
(Direct Observation of Radiation Damage and Lithography Process by Using Ion Irradiation in TEM.)
第3回粒子線の先端的応用技術に関する杓累灼角. 1992年11月24日-1992年11月26日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 00:31:11 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:17:07 +0900