Cl+ｲｵﾝ注入の有無によるTiN膜の潤滑性と微小領域XPS測定
(Micro-XPS analysis of slide-tested TiN film with/without Cl+ implantation)
ECASIA01. 2001年09月30日-2001年10月05日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 03:23:31 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:15:05 +0900