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Mo―BN系スパッター膜からの窒素の離脱

中村恵吉, 羽多野 毅, 小川恵一, 中村恵吉, 小川恵一.
日本金属学会. 1985-10-01.

NIMS著者


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      作成時刻: 2017-02-18 00:09:07 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:04:13 +0900

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