HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Mo―BN系スパッター膜からの窒素の離脱中村恵吉, 羽多野 毅, 小川恵一, 中村恵吉, 小川恵一. 日本金属学会. 1985-10-01.NIMS著者Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-02-18 00:09:07 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:04:13 +0900