マグネトロンスパッタ法によるMo上のTiC被覆の高温及び熱サイクル特性におよぼすスパッタ条件の影響
(Effect of Deposition aonditions on Thermal Cycling Properities of TiC Films deposited by Magnetron Sputtering)
日本原子力学会. 1982-10-01.
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作成時刻: 2017-02-18 00:04:07 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:00:47 +0900