強磁性合金に対するCO-NH3系反応性イオンエッチングにおけるエッチング形状と再付着の形態
(Etched Features and Redeposition in CO-NH3 Reactive-Ion Etching for Ferromagnetic Alloys)
日本応用磁気学会 第２２回学術講演会. 1998-09-20.
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作成時刻: 2017-01-08 05:30:42 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:49:15 +0900