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シリコン酸化膜における応力特性の計算化学的検討
(Study of stress of silicon oxide)
第１９回表面科学講演大会. December 02, 1999-December 03, 1999.
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Created at: 2017-02-18 01:51:46 +0900 Updated at: 2017-07-10 18:01:09 +0900