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スパッタ法による酸化亜鉛薄膜堆積におけるバイアス電圧印加効果

ウィリアムズ ジェシー ロバート, 古川 大和, 安達 裕, 大垣 武, 大橋 直樹.
第32回エレクトロセラミックス研究討論会. 2012年10月26日-2012年10月27日.

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    作成時刻: 2017-01-08 03:44:56 +0900 更新時刻: 2017-07-10 21:30:29 +0900

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