金属上の極薄エピタキシャルAl2O3膜成長の酸素分圧依存性
(Epitaxial growth of ultra-thin Al2O3 film on metal substrate under various oxygen pressure)
応用物理学会. 2001年09月11日-2001年09月14日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:18:37 +0900 更新時刻: 2018-05-30 18:45:17 +0900