Initial Plasma Oxidation Kinetics of Silicon and Surface Potential Change
(シリコンのプラズマ酸化の初期過程及び表面ポテンシャル変化)
International Symposium on Material Chemistry in Nuclear Environ. 1996年03月14日-1996年03月15日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:03:54 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:35:57 +0900