In-situ Observation of Focused Ion Beam micromilled Si,SiO2 and GaAs
(集束イオンビーム加工したSi, SiO2, GaAsのその場観察)
XIIth International Conference on Ion Implantation Technology (. 1998-06-22.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:29:25 +0900 更新時刻: 2023-04-09 15:09:09 +0900