電顕内イオン注入法によるSi中の照射欠陥のその場観察.
(In-situ Observation of Ion Irradiation Induced Defectsin Si by TEM with Ion Beams Implantation System.)
応用物理学会. 1993年09月27日-1993年09月30日.
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作成時刻: 2017-02-14 11:02:17 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:25:22 +0900