マグネトロンスパッター法によるＭｏ上のＴｉＣ被覆の高温および熱サイクル特性におよぼすスパッター条件の影響
(Effect of Sputter Conditions on High Temperature and Thermal Cycle Characteristics of TiC Coatings Deposited ont)
日本原子力学会. 1982-10-10.
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作成時刻: 2017-02-18 00:04:49 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:01:16 +0900