マイクロ波放電による水素原子パルスビーム装置の製作
(A palsed atomic hydrogen beam source using micro wave discharge)
第１９回表面科学講演大会. 1999年12月02日-1999年12月03日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:50:02 +0900更新時刻: 2017-07-10 18:00:08 +0900