Ｍｏ上にマグネトロンスパッタ被覆された炭素過剰ＴｉｘＣ１―ｘ皮膜の特性と構造
(Properties and Structure of Carbon Excess TixC1-x Deposited on Mo by Magnetron Sputtering)
日本金属学会. 1983年10月04日-1983年10月06日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 00:05:54 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:02:01 +0900