スパッタ法による酸窒化物薄膜LaTiO2Nの結晶成長
(Growth of oxynitride LaTiO2N films by sputtering)
第37回エレクトロセラミックス研究討論会. 2017年10月12日-2017年10月13日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-10-18 22:52:41 +0900更新時刻: 2018-06-05 14:13:53 +0900