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スパッタ法による酸窒化物薄膜LaTiO2Nの結晶成長
(Growth of oxynitride LaTiO2N films by sputtering)
第37回エレクトロセラミックス研究討論会. October 12, 2017-October 13, 2017.
NIMS author(s)
Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)
Created at: 2017-10-18 22:52:41 +0900 Updated at: 2018-06-05 14:13:53 +0900